CLEAN ROOM




 クリーンルームそのもの自体では、利益を生みません。
むしろ厄介者? といっても過言ではないでしょう。
クリーンルーム本来の目的は、微生物や微粒子を抑え、歩留まりを上げ、安全な製品を作ることです。そこに投資してどうなの? とうい概念が入ります。そして予算が登場します。
私はかつて、クリーンルームを購入する立場でした。
 「本当にそんなものいるのか?」と上司によく言われました。
ところが今、予算に合ったクリーンルーム。それを提案していくことが、
私にとっては生きがいになっています。
 
代表取締役 永安克志
 
 完成したばかりのクリーンルームは、ISOクラス7(クラス10000)でもISOクラス5(クラス100)程度の清浄度になります。
しかし、いざ製造装置を配備、作業員を配置して製造をはじめたら、まったくISOクラス7にならなかった。施工会社に問い合わせたら「作業員が入ったら仕方ないですよ」と言われた。そんな話をよく耳にします。しかしそれでいいのでしょうか?
 クリーンルームの見積もりを数社に依頼すると金額に2倍以上の開きがありました。とはよく聞くお話です。
私がクリーンルームを購入する立場だった時、何が違うのか、それを絞りきれずにいました。
導入時は、どこにポイントを置くべきなのか?
弊社では、クリーンルーム基礎技術の小冊子を無料で提供しています。
まずはこれに目を通していただけますでしょうか。

クリーンルームを導入するにあたって何が一番重要なのか?
■ 換気回数(供給風量)
■ 外気空気
■ 建材
ここからスタートです。
アメニティ・テクノロジーでは、ご要望があれば、どこにでもクリーンルームを製作いたします。
■ こんな方からのご連絡をお待ちしています。

  • クリーンルームの知識が全くない方
  • クリーンルームにすごく詳しい方
  • ご予算が少ない方
  • 他の業者から製作をことわられた方
  • エンドユーザーからクリーンルームを改善すべき指摘を受けられている方
  • 世界一レベルの高いクリーンルームを導入したい方
  • 最も贅沢なクリーンルームを作りたい方
  • とりあえず相談したい方
クリーンルームは企業にとって商品を製造するための道具です。その立場に立って設計させて頂きます。

■ クリーンルーム計画

クリーンルームに導入に当たって様々な項目について検討する必要があります。そのお手伝いを我々はさせて頂きます。

クリーンルーム

初めてクリーンルームを導入される方、クリーンルームのいろはからご説明させていただきます。増設される方もまずは一報を。価格・機能・環境を考慮した御社の商品製造や商品開発を目的としたクリーンルームの設計を行います。また、既設のクリーンルームの改造メンテナンスも請け負います難しい問題でもどしどしお申し付けください。アメニティ・テクノロジーが解決させていただきます。

■ クリーンルームの企画

ISO16444-1 規格要旨 
クラス 上限濃度(個/m3)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISOクラス1 10 2
ISOクラス2 100 24 10 4
ISOクラス3 1000 237 102 35 8
ISOクラス4 10000 2370 1020 352 83
ISOクラス5 100000 23700 10200 3520 832 29
ISOクラス6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISOクラス7 352000 83200 2930
ISOクラス8 3520000 832000 29300
ISOクラス9 35200000 8320000 293000
 
クリーンルームの状態定義(清浄度をいつ測定するか?)
  1. as-built(施工完了時)
  2. as-rest(製造装置設置時)製造装置作動
  3. operationl(通常運転時)製造状態

■ 清浄度クラスに対する換気回数・外気量と使用ファイナル・フィルタの効率

清浄度基準
(クラス)
換気回数
(層流)
(回/h)
外気量
(回/h)
使用ファイナル・
フィルタの効率
SI English unit 99.97% 99.50%
M3.5 100 250~650 10~20
M4.5 1,000 100~200 5~10
M5.5 10,000 50~70 2~4

換気回数の増加
○ 70~90

M6.5 100,000 20~30 1~2

換気回数の増加
○ 30~50

■ 必要圧力差

該当箇所 最低圧力差
異級のクリーンルーム相互間 5Pa(0.5mmH2O)
クリーンルームと準清浄室 10Pa(1.0mmH2O)
クリーンルームと一般室 15Pa(1.5mmH2O)

■ クリーンルームの構造

クリーンルームの構造1クリーンルームの構造2

クリーンルームにおけるエアーの流れ(一方向流型/非一方向型)

  1. 吸入された外気は、まず粗塵用フィルタを通過します。その際に木の葉などの大きなゴミは除去されます。
  2. 次に活性炭フィルタで有害ガスを除去します。(必要時)
  3. HEPA用プレフィルタ(中性能フィルタ)で、土埃など60%~90%程度除去します。
  4. 熱交換器および加湿器で空調を行います。
  5. HEPAフィルタで0.3μm以上の粒子を99.97%以上捕集され除去します。濾過されたクリーンエアーはクリーンルームに導入されます。
  6. クリーンルームで少量のエアーは、差圧ダンパーや開口部より排気されますが、90%以上のエアーはリターン口よりダクトを通じ、再度空調され循環されます。
垂直一方向型と非一方向型の比較
方式/項目 垂直層流方式
Virtical Laminar
Airflow Clean Room
乱流方式
Turbulent Airflow
Clean
清浄度 M1.5~3.5
(クラス1~100)
M4.5~6.5
(クラス1.000~100,000)
移動時の清浄度 作業者からの影響は少ない 作業者からの影響有
運転費
レイアウト変更 容易 容易
清浄装置
メンテナンス
ルーム内又は
リターンスペースから行う
ルーム内から行う
増設 困難 やや困難
高精度空調 室全体制御のため室内での不均衡やや有 不均衡有






■ 施工事例のご紹介

クリーンルーム2クリーンルーム3クリーンルーム5

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